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第1610章 常院士还是保守了(3)

序赫然相反。

“果然”张汝宁和吴明翰几乎异口同声。

“完美!简直是完美的互补!”前者更是激动地用手指敲击着桌面。

作为光学系统专家,他当然清楚这种特性在消色散过程中能够发挥的价值。

吴明翰也兴奋地搓着手:

“难怪常院士您那天提到镥铝石榴石呢有这么一种材料,解决色差和像差问题的难度大大降低!”

而张汝宁则已经想到了更上一层:

“不不不,不光是色差和像差的问题”

他伸手沾了点水,在茶几上比划着:“还能简化光刻机物镜组的复杂程度,给整个物镜组的孔径角留出提升空间这样就只需要解决一个光路遮挡问题”

他的思路越来清晰,人也越说越激动,甚至有些坐不住了。

仿佛下一秒就要起身冲回长光开始画设计图。

不过,常浩南却没有着急。

还抛出了下一个关键点。

“张研究员,您刚才提到的折反式系统设计中,除了色差和像差,似乎还有一个核心难题?”

张汝宁立刻点头,眉头微蹙:“是的。那就是光路遮挡问题。”

他拿起笔,在便签纸上快速勾勒出三组简化的折反式物镜示意图。

“在折反系统中,我们使用反射镜来折叠光路,缩小系统体积。”

他指着草图上的反射镜位置:

“对于反射镜而言光线越接近垂直入射就越有利于图像校准,但完全垂直的入射光又必然导致两个反射镜之间遮拦成像光束,这是一个根本性的矛盾。”

张汝宁在代表光束的线条上画了个叉。

“为了解决这个问题,目前的主流方案,是采用离轴非对称的视场设计。”

“简单说,就是让光束不是对称地通过系统中心,而是偏心地、非对称地通过。”

“同时,增加反射镜之间的距离,为光束留出通过的空间。”

他在草图上示意了光束的偏转路径和反射镜之间拉开的距离。

“但这又带来了新的问题:非对称视场会导致系统像差,尤其是彗差和像散急剧增大,校正极其困难。”

“同时增加镜间距也会导致系统体积增大,失去折反系统‘紧凑’的优势,很难找到一个完美的平衡点。”

张汝宁放下笔,语气带着一丝无奈:

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