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第1614章 如果上帝为我关上一扇窗,那就直接把房顶掀了(4)

离焦项z4!”

张汝宁语速加快。

泽尔尼克系数是量化光学系统像差的标准数学工具。

其中z4项,就代表了离焦,这正是由色散差导致的核心像差之一。

何修军熟练地操作软件,对当前的干涉图样进行高速采集和分析。

十几秒钟后,结果跳出!

“z4值是-0.042λ。”

何修军的声音由于兴奋而显得尖锐:

“对比我们之前最成功的消色散方案,这套三透镜系统在同等焦距下的实测z4值减少了差不多三分之一”

减少三分之一,这很重要。

但还不是最重要的。

“而且,”张汝宁补充道,“这套系统的体积,只有传统消色散组件的不到五分之一!”

更紧凑的体积和更简单的结构,相当于给物镜组的其它部分留出了更高的自由度。

显然,他们成功了。

这不仅仅是数据的胜利。

还是为突破asml在光刻技术上的封锁,打开了一扇充满希望的窗

不对。

何止是开窗。

这是把房顶都给掀了

就在众人沉浸在初步成功的喜悦中时,气密门再次滑开。

一名测试人员探进头来:“栗教授,有电话找,常院士的。”

正在跟另外几人讨论结果的栗亚波一愣,接着匆匆离开。

但仅仅几分钟后,又去而复返。

“各位!”栗亚波打断了讨论和庆祝。“常院士让我立刻通知大家,尽快去顶楼会议室集合!”

张汝宁脸上的笑容瞬间收敛,严肃起来:

“栗教授什么事这么急?”

他看了看旁边的设备,还有电脑屏幕上的数据:“实验方面还有些收尾和重复验证是需要所有人都过去么?”

“老师说,他找到了一种全新的理论方法!”

可能是因为之前一路跑过来的缘故,栗亚波的呼吸有些急促:

“可以替代现有体系,对偏振像差进行描述和理论解释。”

此话一出,就连正坐在电脑前分析数据的何修军都停下了手上的动作,转过头来看向栗亚波。

“替代琼斯矩阵?”

不止一个人脱口而出。

在传统光学系统的成像

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