上一页 全文阅读 下一章

第1614章 如果上帝为我关上一扇窗,那就直接把房顶掀了(5)

过程中,大多是将光看做标量处理,而忽略其矢量特性。

但在投影光刻物镜中,当数值孔径na不断增大时,光的矢量特性对成像效果影响也会逐渐增大。

尤其对于3g浸没液和镥铝石榴石这样na值预计会大于1.70的系统,传统标量像差理论已经不足以完全表征光学系统的成像性能。

必须使用偏振像差理论。

然而,偏振相差甚至没有一种完善的描述形式,穆勒矩阵和琼斯矩阵各自有无法适用的范围。

如果能解决这个问题,无疑是补上了超高精度成像领域的一个缺口。

张汝宁瞬间做出决断:

“先暂停手头的所有实验操作,锁定设备状态!”

“小何,注意保存好所有数据。”

“所有人,跟我上楼!”

上一页 全文阅读 下一章
  • 今日热门
  • 本周排行
  • 阅排行
  • 年度排行
  • 最新更新
  • 新增小说